Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel für Rasterscanner
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H. J.; Benecke, W. (Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie, Fraunhoferstr. 1, 25524 Itzehoe, Deutschland)
Abstract:
In dieser Arbeit wird ein neuartiger kardanisch aufgehängter und piezoelektrisch angetriebener 2D-Mikrospiegel vorgestellt. Der Mikrospiegel besitzt zwei senkrechte, voneinander entkoppelte Torsionsmoden mit Eigenfrequenzen von 23,9 kHz bzw. 1,5 kHz. Dabei kann die langsame Achse quasi-statisch angetrieben werden, sodass der Mikrospiegel zusammen mit der resonant betriebenen schnellen Achse einen kompletten Rasterscanner ermöglicht. Ein neuartiger Herstellungsprozess erlaubt einen integrierten Aufbau des Mikrospiegels mit geringen Chip-Abmessungen. Der totale optische Scanwinkel um die x-Achse erreicht 22Grad bei resonantem Antrieb, während der Scanwinkel um die y-Achse 13,7Grad bei statischem bzw. 31Grad bei resonantem Antrieb beträgt.