In Kieselglas monolithisch integriertes Interferometer

Abstract:
In diesem Beitrag wird ein monolithisch integriertes Interferometer in Quarzglas gezeigt. Bisherige integrierte optische Systeme dieser Komplexität wurden hauptsächlich in Silicium realisiert, da im Fall von infraroter Strahlung die Anforderungen an die optische Qualität der Funktionsflächen geringer sind und die Herstellung einfacher zu realisieren ist. Für kürzere Wellenlängen im Sichtbaren, die eine höhere Genauigkeit erlauben, wurde deshalb hier ein Prozess für das Glastiefenätzens soweit optimiert, dass dieser optische Qualität erreicht und ein Interferometer-Design und dessen Umsetzung zulässt. Die Funktionsfähigkeit eines solches Systems wurde ebenfalls messtechnisch nachgewiesen.