Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen

Abstract:
Es wird ein Mikrosystem präsentiert, welches die Erfassung und Speicherung mehrerer Grenzwertbeschleunigungen erlaubt, so dass eine diskrete Summierung bzw. eine Angabe zur Stärke des aufgetretenen Beschleunigungsereignisses möglich wird. Eine federgeführte seismische Masse ist Teil eines Rastmechanismus und nimmt abhängig vom äußeren Beschleunigungsereignis fortschreitende Rastpositionen ein. Das Design wurde in SOI-(Silicon-on-Insulator) Technik umgesetzt und das mechanische Verhalten charakterisiert. Dabei wurden verschiedene Beschleunigungsschwellen zwischen 5 g und 30 g gemessen. Zudem kann das System mittels integrierter elektrostatischer Aktoren initialisiert werden. Das System benötigt keine elektrische Energie für die Erfassung und Speicherung von Beschleunigungsereignissen und ist somit zur Überwachung von wenigen, aber funktionskritischen Beschleunigungsstößen über große Zeiträume (Jahre) geeignet.