Mechanische Charakterisierung von metallischen 1D-Nanostrukturen
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Dassinger, F.; Schlaak, H. F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Fachgebiet Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme, Deutschland)
Hottes, M.; Ensinger, W. (Technische Universität Darmstadt, Fachgebiet Materialanalytik)
Abstract:
Die Mikro-Nano-Integration wurde in der Vergangenheit bereits an unterschiedlichsten Sub-Mikro- und Nanostrukturen vorgestellt. Am Fachgebiet Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme und Fachgebiet Materialanalytik der TU Darmstadt wurde vor allem die Herstellung von Nanodrähten aus unterschiedlichen Metallen erforscht. Ein speziell entwickelter Integrationsprozess ermöglicht die strukturierte in-situ Synthese von sogenannten Nanodrahtarrays. Um die sehr guten mechanischen Eigenschaften dieser 1D-Strukturen in Anwendungen nutzbar zu machen, ist eine systematische, mechanische Charakterisierung unumgänglich. Dies wurde bisher jedoch nur ansatzweise für wenige Drahtarray-Geometrien und -Materialien durchgeführt. Durch die stetige Weiterentwicklung des Herstellungsprozesses steht mittlerweile eine Vielzahl unterschiedlicher Nanodrahtarrays zur Verfügung. Die Charakterisierung und der Vergleich dieser 1D-Strukturen, sowie der hierfür entwickelte Messplatz werden im Rahmen dieses Beitrags vorgestellt.