Zwei-Photonen-Polymerisationsprozesse auf Wafergröße
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 2Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Markweg, Eric; Petzold, Norman; Kowallik, Thomas; Mämpel, Jörg; Mollenhauer, Olaf (TETRA Gesellschaft für Sensorik und Automation mbH, Gewerbepark am Walde 4, 98693 Ilmenau, Detschland)
Abstract:
Die Technologie der Zwei-Photonen-Polymerisation ermöglicht die Generierung von sehr kleinen Strukturen auf Nanometer-Skala. Die etablierten Verfahren begrenzen den Einsatz der Strukturen auf Forschungsmuster und Grundlagenforschung. Durch das innovative Maschinenkonzept von TETRA werden die bisherigen Grenzen gebrochen, was den Weg für eine industrielle Herstellung von dreidimensionalen Mikro- und Nanometerstrukturen bereitet.