Demonstration mehrerer MST-Funktionalitäten mittels hochauflösender Stereolithographie anhand eines 3D mikrofluidischen Mixers

Abstract:
Hochauflösende additive Fertigungsverfahren erlauben die Integration von 3D-Mikrostrukturen mit System- und Packagingkomponenten in einem einzigen Fabrikationsschritt. Insbesondere für mikrofluidische Systeme stellt diese Kombination verschiedener Funktionalitäten eine neue Möglichkeit für das Design nahezu beliebiger 3D-Geometrien sowie die Anbindung an die Makrowelt dar. Am Beispiel eines Mikromixers mit dreidimensionalen fluidischen Zuführungskanälen, einem freibeweglichen Kugelrückschlagventil und integrierten, druckdichten Anschlussgewinden stellen wir solch eine Kombination vor. Die verschiedenen Funktionalitäten wurden experimentell erfolgreich überprüft. Wir haben Systeme mit offenen Strukturbreiten bis zu 100 µm mit weiteren gedruckten Elementen und Glassubstraten gebondet oder mit Trockenresistschichten abgeschlossen. Geschlossene Strukturen mit Kanalbreiten und Abständen bis zu 200 µm wurden realisiert.