Tintenstrahldruck ermöglicht eine maskenfreie strukturierte Mikrogalvanik zur Herstellung von miniaturisierten Spulen

Abstract:
Tintenstrahldruck ist als direkte, tröpfchenbasierte Abscheidungstechnik von leitfähigen Nanopartikeln für die Herstellung von Magnetspulen insbesondere bei kostengünstigen und Einweganwendungen interessant, bei welchen Verarbeitungsaufwand und Materialverbrauch minimiert werden müssen. Wir zeigen einen neuartigen Mikrogalvanikprozess basierend auf gedruckten leitfähigen Strukturen. In diesem Prozess werden Formen für die Galvanotechnik in fotostrukturierbarem Epoxy-Lack mittels Rückseitenlithographie strukturiert. Die gedruckten Strukturen dienen damit selbst sowohl als lithografische Maske für die Herstellung der Galvanoform als auch zusätzlich als Startschicht für die Elektroplattierung. Unser Verfahren ist insbesondere für die Herstellung von miniaturisierten, planaren Magnetresonanz Sende- und Empfangs-, Shim- und Gradientenspulen geeignet.