Leiterbahnen zur Versorgung von Leistungselektronik auf Spritzgegossenen, keramischen Grundkörpern
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Matuschka, B.; Schulze, V.; Rohde, M.; Seifert, H. (Karlsruher Institut für Technologie, Karlsruhe, Deutschland)
Abstract:
In der vorliegenden Veröffentlichung wird die Entwicklung einer neuen Methode zur Herstellung von Leiterbahnen auf der Basis von Aktivloten vorgestellt. Es wurden unterschiedliche keramische Werkstoffe (Al2O3, ZrO2) in der Untersuchung verwendet, auf deren Basis die Anwendbarkeit von zwei Prozessvarianten überprüft wurde: Sowohl mit einem zweistufigen Verfahren, bei dem die Oberfläche mit dem aktivierenden Element Ti vorbeschichtet und danach mit einem flüssigen Weichlot benetzt wird, als auch mit einem einstufigen Verfahren unter Verwendung von AgCuTi-Aktivlot konnten leitfähige Strukturen mit guter Haftung erzeugt werden.