Numerische und experimentell verifizierte Berechnung fluidischer und thermoelastischer Dämpfung in MEMS
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Freitag, M.; Sorger, A.; Voigt, S.; J. Mehner (Technische Universität Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
Dieser Beitrag stellt numerische Untersuchungen zu fluidischer und thermoelastischer Dämpfung (TED) und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) vor. Die Grenzen der Verdünnungsmodellierung mit Hilfe der effektiven Viskosität für die fluidische Dämpfung wurden bestimmt. Weiterhinwurde die Anwendbarkeit der Modelle durch einen Vergleich von berechneten und experimentell ermittelten Dämpfungskonstanten für beide Dissipationsprozesse geprüft.