Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen Schaltzeiten

Abstract:
In diesem Beitrag werden ohmsche MEMS-Schalter mit einem bidirektionalen Antrieb vorgestellt. Die Schalter basieren auf einem neuartigen Design-Konzept, mit dem sich selbst bei kleiner Baugröße hohe Kontaktkräfte sowie geringe Schaltzeiten realisieren lassen. Messungen haben bestätigt, dass die hergestellten Schalter extrem geringe Ein- und Ausschaltzeiten von unter 850 ns bzw. 240 ns aufweisen, welche in guter Übereinstimmung mit der Theorie liegen. Darüber hinaus zeichnen sich die Schalter durch sehr geringe Kontaktwiderstände von lediglich 260 mOmega aus und ermöglichen infolge des bidirektionalen Antriebs ein kontaktverschweißungs-freies Schalten selbst unter hoher Last.