Herstellung von strukturierten Metalloberflächen durch Template-Stripping

Abstract:
Metallische Nanostrukturen spielen eine bedeutende Rolle auf dem Gebiet der Plasmonik und im Allgemeinen in der Nanophotonik. Die Nutzung von nanostrukturierten Metall-Dünnschichtoberflächen erlaubt beispielsweise die Entwicklung neuer ultrasensitiver und robuster Bio-assays für die Anwendung in den Lebenswissenschaften, der Umwelt oder der Biomedizin aber auch die Untersuchung physikalischer Effekte bei Wechselwirkung der Strukturen mit Licht. Die Herstellung der metallischen Strukturoberflächen ist sowohl unter Nutzung von top-down als auch bottom-up Präparationen möglich. Die Methode des Template-Strippings ist dabei nur eine von vielen möglichen Herstellungsvarianten für plasmonische Oberflächen. Das Prinzip beruht auf der Realisierung von 3-D-Strukturen in Mastersubstraten über lithografische Strukturierung, welche anschließend beschichtet werden. Danach werden diese dünnen Schichten über einen Stripping-Prozess auf eine Probenoberfläche übertragen. Insbesondere durch die wiederverwendbaren Templates nach der Reinigung liegt der Vorteil dieses Herstellungsverfahrens in einer kostengünstigen Produktion von ultra glatten Metalloberflächen. Es sollen Vor- und Nachteile von Template-Stripping und FIB-Präparation für die Herstellung strukturierter Oberflächen z.B. für SERS, TERS und SPR Anwendungen gezeigt werden.