Zemax®-Simulationen zur Entwicklung eines Wafer Level Optopackage für 2D-Mikrospiegel

Abstract:
Das Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie in Itzehoe hat kompakte zweiachsige Mikrospiegel entwickelt, deren Antrieb unter Vakuum hochauflösende Laserprojektionen ermöglicht. Bei der Verwendung eines parallel zur Spiegelplatte ausgerichteten optischen Fensters entsteht allerdings ein unerwünschter Reflex des Lasers im Zentrum des Projektionsbildes. Daher musste ein geneigter Glasdeckel entwickelt werden um den Primärreflex außerhalb des Bildes abzulenken. Um die Qualitätsanforderungen an das neuartige Package zu ermitteln wurden optische Simulationen in Zemax(r) durchgeführt. Dazu wurde zum einen Abweichungen von der idealen Ebenheit des Fensters auf den Laserstrahl als auch Lösungsmöglichkeiten zur Vermeidung von sekundären Reflektionen, sogenannten Geisterbildern untersucht.