Optische Koppler-Strukturen aus SU-8 und Ormocer® zur Verwendung in einem optischen Mikrogyroskop

Abstract:
Dieses Paper berichtet von der systematischen Untersuchung von integrierten Wellenleiterkoppler-Strukturen für die Verwendung in einem neuen optischen Mikrogyroskop. Für das hier verfolgte innovative Gyroskopkonzept wird für den Ringresonator eine Dreiecksstruktur verwendet. Die Reflektion an den Ecken des dreieckigen Ringresonators geschieht durch Doppelspiegel. Diese Doppelspiegel sollen für eine optimale Führung des Laserstrahls sorgen und Verluste im Resonator minimieren. Um weitere störende Effekte, die bei einem klassischen Ringlasergyroskop durch das laseraktive Medium hervorgerufen werden, zu vermeiden, wird der Ringresonator als passiver Resonator ausgeführt. Folglich soll eine externe Lichtquelle verwendet werden. Aus diesem Grund müssen Strukturen existieren, die das Licht in und aus dem Resonator koppeln. In diesem Konzept soll diese Funktion durch Wellenleiterkoppler realisiert werden. Zur Untersuchung dieser Koppler wurden Teststrukturen entwickelt, an Hand derer der Einfluss verschiedener Parameter getestet wird.