Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Meinecke, Christoph; Rennau, Michael; Reuter, Danny (TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien, Chemnitz, Deutschland)
Müller, Mathias; Ebert, Robby; Exner, Horst (Laserinstitut Hochschule Mittweida, 09648 Mittweida, Deutschland)
Bertz, Andreas (Fraunhofer Institut ENAS, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Geßner, Thomas (TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien und Fraunhofer Institut ENAS, Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
Ziel dieser Arbeit ist es, eine neue Sensorgeneration zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration an Maschinen und Anlagen zu entwickeln, die selbst kleinste Anregungen noch hochpräzise detektieren, da die nachzuweisenden Signalpegel im Geräte- und Anlagenbau oftmals so klein sind, dass die weltweit verfügbaren Systeme an ihre Grenzen stoßen. Um diese extrem kleinen nachzuweisenden Signalpegel mit Sensoren zu detektieren, wird die Sensitivität mittels Erzeugung kleinster Elektrodenabstände (kapazitives Wirkprinzip, vertikale Elektrodenkämme) erhöht. Für die hier entwickelten AIM-Sensoren mit Zustellstruktur wird gezeigt, dass der Spaltabstand zwischen den Elektroden auf ca. 1 µm nachträglich verringert werden kann.