Hybrider Fertigungsprozess zur Integration von Drucksensoren auf die Oberfläche von Tellerfedern
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Rittinger, J.; Klaas, D.; Wurz, M. C.; Rissing, L. (Institut für Mikroproduktionstechnik, Produktionstechnisches Zentrum Hannover, Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen, Deutschland)
Abstract:
Am Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover wurde ein hybrider Fertigungsprozess zur Herstellung von Drucksensoren direkt auf der Oberfläche von Tellerfedern entwickelt. Der in diesem Beitrag vorgestellte hybride Prozess kombiniert die dünnfilmtechnische Herstellung von metallischen Dehnungsmessstreifen mit einer anschließenden spanenden und umformenden Bearbeitung. Beispielhaft wurden Tellerfedern für die Integration in eine Maschinenführung ausgelegt. Hierdurch soll eine Druckmessung im direkten Kontaktbereich zwischen dem System „Führungsschiene und Gestell“ auf der einen Seite und zwischen „Führungswagen und Schlitten“ auf der anderen Seite ermöglicht werden. Durch das hier beschriebene Fertigungskonzept wurden Druckmesssensoren auf Tellerfedern realisiert, deren Funktionalität durch Laborversuche verifiziert werden konnte.