Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer Polymermembran
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kaiser, M.; Rechel, M.; Goldmann, J.; Rissing, L.; Wurz, M. C. (Institut für Mikroproduktionstechnik, Produktionstechnisches Zentrum Hannover, Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen, Deutschland)
Abstract:
Am Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover wird die Verwendung von Polyimiden für die Verwendung als Membranmaterial eines akustischen Wandlers untersucht. Für die Durchführung der Untersuchung wird ein Mikrofon am IMPT entwickelt und gefertigt. Dieser Beitrag beschreibt die Prozessentwicklung, die Auslegung und die dünnfilmtechnische Fertigung eines akustischen Wandlers als Prototyp. Der akustische Wandler basiert auf dem kapazitiven Prinzip und entspricht im Aufbau idealisiert einem Plattenkondensator, wobei eine Elektrode starr und die andere beweglich durch eine freischwingende Membran dargestellt werden. Die dünnfilmtechnische Fertigung beinhaltet auch die Etablierung von Prozessen, um die vertikale Beweglichkeit der Membran zu gewährleisten.