Oberflächenplanare Integration von Sensorchips

Abstract:
Für die Entwicklung und den Aufbau von Strömungssensoren, die in Messsysteme zur Geschwindigkeits- und Ausbreitungsrichtungsmessung ihren Einsatz finden, wurden Sensormodule in speziellen verwirbelungsfrei, überströmbaren Gehäusen integriert und die dazu notwendigen Fertigungsprozesse und Testmethoden entwickelt. Die Kopplung der zu messenden Strömungen von Gasen und Gasgemischen an den Strömungssensor muss dabei in der Weise erfolgen, dass die messempfindlichen Elemente des Sensors störungsfrei überströmt werden, um Messabweichungen zu vermeiden. Der für diese Anwendung eingesetzte Strömungssensor besteht aus einem Sensorchip, der mit Hilfe der Silizium Halbleitertechnologie hergestellt wurde. Aufgrund des speziell für diesen Sensor entwickelten Chipaufbaus kann die Kontaktierung (auch aus Kostengründen) nur auf der Vorderseite des Sensors erfolgen, auf der sich auch die sensorischen- und aktorischen Elemente befinden. Um eine verwirbelungsfreie Überströmung des Sensors sicher zu stellen, muss die Kontaktierung in der Leiterbahnebene des Sensorchips erfolgen. Aufbauende Strukturen wie Bonddrähte, Leiterbahnlaminate und Gehäuserahmen können hier nicht eingesetzt werden.