Ultradünne flexible Leiterplatten für industrielle Anwendung, Sensorik und Biomedizin
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Gutöhrlein, K.; Stumpf, A.; Heusel, G.; Röhler, S.; Burkhardt, C. J.; Stett, A. (NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut, 72770 Reutlingen, Deutschland)
Abstract:
Dünne, anwendungsspezifisch gefertigte Polyimid-Folien mit Dicken zwischen 1 und 20 µm ermöglichen den Aufbau flexibler ein- und mehrlagiger Schaltungsträger. Die Anwendungen reichen vom Mikroelektroden Array (MEA) in der biomedizinischen Forschung bis zum flexiblen Flachbandkabel als Verbindungselement für aktive Implantate. Es werden drei Beispiele vorgestellt: Ein FlexMEA mit 120 Elektroden und zweilagiger Führung der Leiterbahnen, ein FlexMEA mit transparenten Leitbahnen aus Indium Zinn Oxid und ein Prototyp eines Flexboards mit 4 Leitbahnebenen für den Einsatz als Mikrospule.