Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Lotichius, J.; Christmann, E.; Asmus, A.; Kupnik, M.; Werthschützky, R. (Technische Universität Darmstadt, Institut für elektromechanische Konstruktionen, Merckstr. 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
In dieser Arbeit wird eine Prüfkammer mit 0,25 l Volumen vorgestellt, die zwischen –10 ºC bis 150 ºC temperiert werden kann. Des Weiteren kann ein Druck bis zu 3 MPa oder ein Füllgas eingeleitet werden. Die Kammer wird von zwei Peltier-Elementen temperiert, von denen eines die Kammerwand und das zweite das einströmende Gas temperiert. Ein Zustandsraummodell des Aufbaus wird vorgestellt und die Ermittlung von Parameterwerten anhand der Sprungantwort exemplarisch gezeigt. Eine PI-Reglung mit proportionaler Verstärkung von 3,6 AK(exp –1) und integraler Verstärkung von 5 x 10(exp –3) zeigt eine Temperaturstabilität von 0,5 K.