Einfluss der Verbindungstechnologie auf das Auslenkverhalten von gesteuerten Mikromembranaktoren

Abstract:
In den letzten Jahren wurden neuartige piezoelektrische Mikromembranaktoren vorgestellt, die über einseitig aufgebrachte Oberflächenelektroden gesteuert werden. Meist kamen dabei Elektrodenanordnungen in Ring- und Sternform, aufgebracht auf der Oberfläche des piezoelektrischen Materials, in diesem Fall PZT, zum Einsatz. Die Sternform zeigte dabei, unter bestimmten Voraussetzungen, eine Auslenkung in Richtung der aktiven Oberfläche, das heißt in Richtung der Seite auf der sich die Elektroden befanden. Dies ist ein wesentlicher Vorteil gegenüber klassischen piezoelektrischen Mikromembranaktoren. Erreicht wurde dies durch eine feste Randeinspannung, die der PZT-Membran eine solche Bewegung aufzwang. Hierzu wurde auf der aktiven Seite des PZTs ein Siliziumwafer mit einer Öffnung an der Aktorposition aufgeklebt. Dieser Klebevorgang hatte Einfluss auf das Auslenkverhalten der Aktoren und wird in dieser Ausarbeitung näher betrachtet.