Silizium-Photonik: Integriertes Sensorkonzept für die Detektion von Gasen und Flüssigkeiten

Abstract:
Wir stellen in dieser Veröffentlichung ein Konzept eines integrierten Spektrometers für die Bestimmung der Luftfeuchtigkeit vor. Dabei geben wir einen Überblick über die möglichen Anwendungen und die verwendeten Technologien wie die Silizium-Photonik. Das integrierte Spektrometer besteht aus einem Sensorchip und einem Steuer- und Auslesechip, beide mit Silizium-CMOS-Technologie hergestellt und auf einer Platine aufgebaut. Das Licht wird mit aufgebauten Laserdioden in den Chip geleitet und mit integrierten Germanium-Dioden detektiert. Das Layout der Auswerteschaltung und die Prozessergebnisse der einzelnen Komponenten werden vorgestellt.