Entwicklung eines miniaturisierten Flammenionisationsdetektors in der keramischen Mehrlagentechnologie für den Schutz vor explosionsfähigen Gasgemischen
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Lenz, C.; Saha, A. Tagne; Ziesche, S. (Fraunhofer Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS, Winterbergstr. 28, 01277 Dresden, Deutschland)
Kuipers, W.; Koch, C.; Deilmann, M. (KROHNE, Ludwig-Krohne-Str. 5, 47058 Duisburg, Deutschland)
Abstract:
Gassensorische Lösungen zur Vermeidung explosionsfähiger Atmosphären haben für die zivile Sicherheit eine erhebliche Bedeutung. Im Beitrag werden geeignete Messverfahren zur Luftüberwachung aufgeführt und hinsichtlich ihrer Vor- und Nachteile gegenübergestellt. Der Flammenionisationsdetektor (FID) weist dabei substanzielle Vorteile auf, macht jedoch den Einsatz neuer mikrosystemtechnischer Fertigungsverfahren notwendig. Aufgrund der hohen Anforderungen an das sensorische Element ist die keramische Mehrlagentechnologie das bestmögliche Fertigungsverfahren. Die keramische Mehrlagentechnologie wird vorgestellt und die sich ergebenden Vorteile für das FID-Messverfahren aufgeführt.