Integration von dreidimensionalen Strukturen in mikrofluidische Systeme
Conference: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10/26/2015 - 10/28/2015 at Karlsruhe, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik 2015
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Eschenbaum, C.; Lemmer, U. (Lichttechnisches Institut (LTI), Karlsruher Institut für Technologie, Engesserstr. 13, 76131 Karlsruhe, Deutschland)
Eschenbaum, C.; Lemmer, U. (InnovationLab GmbH, Speyerer Straße 4, 69115 Heidelberg, Deutschland)
Eschenbaum, C.; Lemmer, U. (Institut für Mikrostrukturtechnik, Hermann-von-Helmholtz-Platz 1,76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Abstract:
Wir präsentieren eine Methode zur Verbesserung der Auflösung für die zwei-Photonen-Polymerisation (2PP). Dabei wird der Fotolack doppelt belichtet, wobei die einzelnen Belichtungsschritte lateral versetzt werden. Bei der Belichtung nahe der Polymerisationsschwelle wird nur der doppelt belichtete Bereich ausreichend vernetzt. Dadurch kann die Voxelgröße im Vergleich zur einfachen Belichtung deutlich reduziert werden. Des Weiteren stellen wir eine Methode zur Kombination von UV-Lithographie und zwei-Photonen-Polymerisation vor. Hier wird in einem ersten Schritt ein mit Farbstoff dotierter Fotolack verwendet, so dass die Fluoreszenz des Farbstoffs in weiteren Schritten für das Ausrichten der 2PP genutzt werden kann. Mit Hilfe dieser Methode wird die Integration von mikrooptischen Elementen in einen mikrofluidischen Chip gezeigt.