Autarkes MEMS-Dosimeter für personenbezogenes Nanopartikel-Monitoring

Conference: VDE-Kongress 2016 - Internet der Dinge
11/07/2016 - 11/08/2016 at Mannheim, Deutschland

Proceedings: VDE-Kongress 2016 – Internet der Dinge

Pages: 6Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Wu, Wenze; Wasisto, Hutomo Suryo; Peiner, Erwin (Technische Universität Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik (IHT) und Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Braunschweig, Deutschland)
Uhde, Erik (Fraunhofer-WKI, FB Materialanalytik und Innenluftchemie, Bienroder Weg 54E, 30108 Braunschweig, Deutschland)

Abstract:
Echtzeittests und Kalibrierung eines MEMS-(Mikro-Elektro-Mechanisches-System)-basierten, autarken, in der Kleidung tragbaren Dosimeters für luftgetragene Nanopartikel (NP) werden vorgestellt. Die Messzelle enthält eine Biegebalken-Resonanzwaage, auf der elektrisch geladene NP elektrophoretisch abgeschieden und durch die Änderung der Resonanzfrequenz detektiert werden. Die Kalibrierung in definierter Messumgebung erfolgt unter zeitlich variabler Konzentration und Größenverteilung der NP gegen ein Labor-Referenzverfahren (FMPS: Fast Mobility Particle Sizer). Für SiO2- und TiO2-NP-Aerosole ergibt sich erwartungsgemäß ein Kalibrierfaktor, der über den elektrophoretischen Abscheidewirkungsgrad von der NP-Größe abhängt.