Beheizbarer planarer Hochfrequenz-Sensor
Conference: Sensoren und Messsysteme - 19. ITG/GMA-Fachtagung
06/26/2018 - 06/27/2018 at Nürnberg, Deutschland
Proceedings: Sensoren und Messsysteme
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Walter, Stefanie; Bogner, Andreas; Hagen, Gunter; Moos, Ralf (Lehrstuhl für Funktionsmaterialien, Universität Bayreuth, 95440 Bayreuth, Deutschland)
Abstract:
Es wurde ein Hochfrequenz-Sensor mit integrierter Beheizung zur Gasdetektion entwickelt. Damit ist es möglich, gasabhängige Änderungen in den dielektrischen Eigenschaften bei Funktionsmaterialien auch bei hohen Temperaturen zu untersuchen. Durch Beschichtung der planaren Resonanz-Struktur mit einem Zeolithen kann beispielsweise Ammoniak detektiert werden. Je nach Betriebstemperatur verändert sich das Einspeicherverhalten des Ammoniaks in die gassensitive Schicht, was z.B. durch Resonanzfrequenzverschiebung sensorisch erfasst werden kann.