Samariumsulfidschichten für Sensoranwendungen
Conference: Sensoren und Messsysteme - 19. ITG/GMA-Fachtagung
06/26/2018 - 06/27/2018 at Nürnberg, Deutschland
Proceedings: Sensoren und Messsysteme
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Delan, A.; Gerlach, G. (Technische Universität Dresden, Institut für Festkörperelektronik, Dresden, Deutschland)
Ngoumeni, R. (Sindlhauser Materials GmbH, Kempten, Deutschland)
Vondkar, K.; Glöß, D. (Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP, Dresden, Deutschland)
Abstract:
Im vorliegenden Beitrag werden Samariumsulfidschichten (SmS) als neuartiges Sensormaterial vorgestellt. SmS weist eine Reihe besonderer Eigenschaften hinsichtlich seiner Energiebandstruktur auf, aus der sich ein starker Einfluss mechanischer Effekte auf den Widerstand und ausgezeichnete optische Eigenschaften ergeben. Damit ist SmS für verschiedene Anwendungen in der Sensorik zur Messung mechanischer Größen (z.B. Drucksensoren, Dehnungsmessstreifen) und für optische Sensoren interessant. Die SmS-Schichten werden bzgl. der Stöchiometrie und der elektrischen und optischen Eigenschaften charakterisiert und erste Dehnungsmessungen vorgestellt.