Effizientes Design und Layout von 3D-Beschleunigungssensoren mittels automatisierter Synthese

Conference: ANALOG 2018 - 16. GMM/ITG-Fachtagung
09/13/2018 - 09/14/2018 at München/Neubiberg, Deutschland

Proceedings: GMM-Fb. 91: ANALOG 2018

Pages: 6Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Michael, Steffen; Kellner, Maria; Sommer, Ralf (IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme GmbH, Ilmenau, Deutschland)

Abstract:
In dem Beitrag wird ein Konzept zur überwiegend automatisierten Synthese von Design und Layout eines 3D-Beschleunigungssensors vorgestellt, das auf Kundenspezifikationen einerseits und den Technologieparametern andererseits basiert. Der hierarchische Ansatz führt zu reduzierten Entwicklungskosten und somit zu einer verkürzten Dauer bis zur Platzierung des Produktes am Markt. Beispielhaft wird die Funktionalität des implementierten modularen Synthesetools an einem 3D-Beschleunigungssensor für Reifendrucksensoren unter Nutzung der Technologieplattform XMB10 von X-FAB gezeigt.