Anwendungen ionenspur-geätzter Polymermembranen in der Mikro-Nano-Integration

Abstract:
Hit Hilfe von Ionenbestrahlung und anschließendem nasschemischen Ätzen lassen sich in Polymerfolien Mikro- und Nanoporen erzeugen. Analog zu biologischen Zellmembranen lassen sich die Nanoporen mit Biorezeptoren funktionalisieren. Die Integration der funktionalisierten Nanoporenfolie in einem Lab-on-Chip-System ermöglicht die elektrochemische Analyse von Fluiden. Durch eine selektive galvanische Vor-Ort-Abscheidung lassen sich metallische Nanodrähte und Nanokonen in beliebigen Anordnungen auf Substraten herstellen bzw. in Mikrosysteme integrieren. In einer Vielzahl von Anwendungen als Mikrobatterien, Kühlsysteme, Vakuumelektronenquellen sowie diverse Sensoren und Mikrokontaktierungen ist diese Technologie demonstriert worden.