MEMS basierte magnetische passive Mikrobauteile für Hochfrequenz-Leistungsanwendungen
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Dinulovic, Dragan; Shousha, Mahmoud; El Shafey, Khaled; Haug, Martin (Würth Elektronik eiSos GmbH & Co. KG, Parkring 29, 85748 Garching, Deutschland)
Wurz, Marc Christopher (Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT), Produktionstechnisches Zentrum der Leibniz Universität Hannover PZH, An der Universität 2, 30823 Garbsen, Deutschland)
Abstract:
In diesem Artikel wird ein Überblick über die Entwicklung von passiven magnetischen Mikrobauteilen (Mikroinduktivitäten und Mikrotransformatoren) gegeben, die für Hochfrequenz-Leistungsanwendungen geeignet sind. In dieser Arbeit werden sowohl zwei unterschiedliche Mikrotransformator-Designs mit unterschiedlichen Magnetkernmaterialien (NiFe45/55 und CoFe45/55) betrachtet, als auch die Herstellung, Charakterisierung und Test in die hochfrequenten Anwendungen vorgestellt. Beide Bauteile weisen ein Solenoid-Design in unterschiedlichen Ausführungen auf. Die Mikrotransformatoren werden in DC-DC-Wandlern verwendet und getestet, die mit einer Schaltfrequenz von 4 MHz bis 20 MHz betrieben werden. Eine erreichte Effizienz von über 70 % zeigt, dass die Mikrobauteile gut für Hochfrequenz- Anwendungen geeignet sind.