Mikromechanischer Analog-Digital Wandler zur Digitalisierung mechanischer Verschiebungen
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schmitt, Philip; Tsivin, Nick; Hoffmann, Martin (Ruhr-Universität Bochum, Bochum, Deutschland)
Abstract:
Im Rahmen dieses Beitrags wird das Design, die Fertigung und die Charakterisierung eines passiven mikromechanischen Analog-Digital Wandlers vorgestellt, der eine mechanische Verschiebung direkt in einen parallelen elektrisch auslesbaren Binärcode wandelt. Es wird zudem gezeigt, wie eine vordefinierte, beliebige Übertragungsfunktion direkt am mikromechanischen A/D Wandler implementiert werden kann, um das Messsignal einer primären Messgröße zu linearisieren.