Rapid-Prototyping Prozess für stark asphärische Mikrolinsen-Arrays
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Müller, Angelina; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike (Universität Freiburg, IMTEK – Institut für Mikrosystemtechnik, Professur für Mikroaktorik, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Wir zeigen einen neuartigen Rapid-Prototyping Prozess zur Herstellung transmissiver asphärischer Mikrolinsen-Arrays. Der Prozess basiert auf einer Oberflächenverformung durch thermische Ausdehnung eines weichen Polymers (PDMS) in eine laserstrukturierten Urform, die zu einer präzisen Linsenform führt. Mit Hilfe einer numerischen Formoptimierung konnten wir Mikrolinsen-Arrays mit 1 mm Apertur und 113 ± 13 nm Oberflächenabweichung erzeugen.