Hochdruckstabile direkte Anbindung 3D gedruckter Mikrodüsen auf einen Silizium-Glas-Fluidik-Chip
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Bohne, Sven; Trieu, Hoc Khiem (Institut für Mikrosystemtechnik, Technische Universität Hamburg, Hamburg, Deutschland)
Heymann, Michael (Max-Planck-Institut für Biochemie, Martinsried, Deutschland)
Chapman, Henry (Center for Free Electron Laser Science, Hamburg, Deutschland)
Bajt, Sasa (Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY, Hamburg, Deutschland)
Abstract:
Ein Flüssigkeitsstrahl-Probenzuführungssystem mit gasdynamischer virtueller Düse (GVDN) wird vorgestellt, bei dem eine Mikrodüse unter Verwendung eines 2-Photonen-Polymerisations (2PP) 3D-Druckprozesses direkt auf einen Silizium-Glas-Mikrofluidchip gedruckt wird. Dies ermöglicht neben schnellem Prototyping eine hochpräzise maßgeschneiderte Produktion von Düsen. Die Kombination von Chip und 3D-Druck ermöglicht außerdem die Entwicklung zukünftiger Probenabgabesysteme, die neben Düse und Fluidik, Komponenten für Sensorik und Steuerung enthalten können. Mit dem hier beschriebenen Hybridsystem werden stabile Strahlen mit Durchmessern zwischen 1,5 µm bei einem Fluss von 1,5 myl/min und mehr als 20 µm bei einem Fluss von 100 myl/min erzeugt.