Trockenchemisches Freistellen von Mikrostrukturen in der Glaskeramik Zerodur
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Gustav-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Hoffmann, Martin (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Gustav-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland & Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Universitätsstraße 150, 44801 Bochum, Deutschland)
Abstract:
Die trockenchemische Freistellung von Mikrostrukturen aus der Glaskeramik Zerodur stellt eine Herausforderung dar. Mit einem Fluor-basierten, Batch-kompatiblen Prozess lassen sich hohe Aspektverhältnisse in UV-lithografischer Genauigkeit erreichen. Dazu wird der Einfluss des komplexen Materialsystems näher untersucht. Im Fokus stehen dabei schwerflüchtige Reaktionsprodukte und deren Verhalten beim Tiefenätzen und beim Freistellen der Strukturen.