Mesoskopische Flüstergaleriemodenresonatoren im sichtbaren Spektrum auf Basis von Silizium Mikrostrukturierung
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Behrens, Arne; Fesser, Patrick (TU Ilmenau, Fachgebiet Technische Optik Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Deutschland)
Kreismann, Jakob; Hentschel, Martina (TU Ilmenau, Fachgebiet Technische Physik II Insitut für Physik, Deutschland)
Sinzinger, Stefan (Fachgebiet Technische Optik Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano ® TU Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Wir präsentieren ein neuartiges Verfahren zur Herstellung verschiedener optischer Mikroresonatoren auf Basis von Silizium-Mikrostrukturierung gefolgt von einer thermischen Oxidation zur Erzeugung einer Siliziumdioxid-Hülle. Dazu werden reaktive Plasmaätzprozesse genutzt, welche sehr geringe Oberflächenrauheiten erzeugen.Weiterhin wird ein Verfahren zur Glättung der Oberflächenrauheit der Mikroresonatoren vorgestellt, welches sehr gut skalierbar ist. Anschließend wird eine neuartige Methode zur Bestimmung des Güte-Faktors anhand des abgestrahlten Fernfelds vorgestellt.