Entwurf, Fabrikation und Test einer 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Voigt, Sebastian; Freitag, Markus; Krishna, Varsha; Hahn, Susann; Hiller, Karla; Mehner, Jan (Technische Universität Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
Dieser Beitrag präsentiert die erste 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren hergestellt in MEMS-Technologie. Diese Positionierplattform ist mit einer Resonanzfrequenz von >50 kHz sehr steif und bietet sehr große Kräfte und Stabilität. Diese Eigenschaften machen diese Art von Positionierplattform interessant für Anwendung bei der Positionierung von Manipulatoren mit hohen Kräften oder mit großen bewegten Massen. Der Bewegungsumfang der Muster beträgt 3 µm x 3 µm und 0,3 Grad Rotationswinkel