Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Stolz, Michael; Mrosk, Andreas; Kaiser, Bert; Ehrig, Lutz; Conrad, Holger; Schenk, Harald (Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), 01109 Dresden, Deutschland)
Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu (Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), 01109 Dresden, Deutschland & Brandenburgische Technische Universität Cottbus-Senftenberg, Fachgebiet Mikro- und Nanosysteme, 03046 Cottbus, Deutschland)
Abstract:
In der Arbeitsgruppe integrierte Siliziumsysteme des Fraunhofer IPMS werden am Standort Cottbus innovative Anwendungen eines neuartigen nanoskopischen elektrostatischen Antriebs (nanoskopic electrostatic drive – NED) untersucht. Eine der vielversprechendsten Anwendungen sind Lautsprecher. Vollständig aus Silizium gefertigte MEMS-Lautsprecher auf Basis von NED-Biegeaktoren werden vor den akustischen Messungen mechanisch und elektrisch charakterisiert. Beidseitig eingespannte elektrostatisch betriebene in-plane NED-Aktoren werden dabei über einen Frequenzbereich von 20 Hz bis 20 kHz angeregt. Dabei sind die Strukturen oft verdeckt, was ihre Charakterisierung erschwert. Es werden zerstörungsfreie optische Methoden präsentiert, mit deren Hilfe die Bestimmung der mechanischen Schwingungseigenschaften einzelner Aktoren ermöglicht wird sowie die Beweglichkeit im verdeckten Zustand nachgewiesen werden kann.