Modellierung, Fertigung und Erprobung einer neuartigen EWOD-betriebenen Mikropumpe
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Bohm, Sebastian (Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Theoretische Physik 1, Weimarer Straße 32, 98693 Ilmenau, Deutschland & 5microns GmbH, Ehrenbergstraße 11, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Dittrich, Lars (microns GmbH, Ehrenbergstraße 11, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Runge, Erich (Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Theoretische Physik 1, Weimarer Straße 32, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Aufgrund der vorteilhaften Skalierung eignet sich der sogenannte Electrowetting-on-Dielectrics-Effekt (kurz EWODEffekt) für die Manipulation von Flüssigkeiten auf der Mikro- oder Nanoskala. In diesem Beitrag wird gezeigt, wie der EWOD-Effekt zur Realisierung einer miniaturisierten, mikrofluidischen Pumpe genutzt werden kann: Mithilfe des EWOD-Effektes kann unter Verwendung geeigneter passiver strömungsmechanischer Ventile eine Pumpe aufgebaut werden, welche vollständig ohne bewegliche Komponenten auskommt. Daraus resultieren ein einfacher, vollständig auf Wafer-Level ablaufender Fertigungsprozess sowie ein robustes Pumpendesign. Die theoretischen Grundlagen sowie die entwickelten Simulationsmethoden und die ersten experimentellen Ergebnisse werden in diesem Beitrag präsentiert.