Verwendung von perowskitischen Niobaten als potentielle Feuchtigkeitssensoren
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Frey, Marco; Wen, Yusi; Jund, Felix (Institut für Mikrosystemtechnik, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Hanemann, Thomas (Institut für Mikrosystemtechnik, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland & Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde, Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Hermann-von-Helmholtz, Deutschland)
Abstract:
Es wurde nanoskaliges Keramikpulver der Zusammensetzung NaxK1-xNbO3 mit x=0 bis x=1 synthetisiert. Das perowskitische Niobat kann durch die Sol-Gel Synthese stöchiometrisch exakt hergestellt werden. Über die elektrophoretische Abscheidung können Polymer-Keramik-Kompositschichten abgeschieden werden, die eine relative Permittivität bei Raumtemperatur je nach chemischer Komposition und Umgebung zwischen zehn und über tausend aufweisen. Eine Untersuchung an gesinterten Probenkörpern zeigte eine deutliche Abhängigkeit der Werte von der Feuchtigkeit der Probe.