Nanostrukturierte Beugungsgitter als angepasste integrierbare Polarisationsstrahlteiler
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Wüster, Julian; Bourgin, Yannick; Feßer, Patrick; Si, Shuhao; Sinzinger, Stefan (Institut für Mikro- und Nanotechnologien, Technische Universität Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Polarisationsoptische Strahlteiler finden vielfältige Anwendung in optischen Systemen, zum Beispiel in der Oberflächenmesstechnik. Die dabei benötigte Verkippung oder die Faltung des Strahlengangs mit klassischen Polarisationsstrahlteilern erschwert die Integration in kompakte optische Messsysteme. Vorgestellt wird das Design und der Fertigungsprozess eines nanostrukturierten Beugungsgitters. Es wird mit den Mitteln der Nanoimprint-Lithographie gefertigt und besitzt verschiedene Beugungseffizienzen für TE- und TM-Polarisation und ermöglicht somit kompakt und in-line die effiziente Trennung von Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang.