Toleranzanalyse für photonische Kristalle aus Silizium
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Baldauf, Julia; Thronicke, Nicole; Ortlepp, Thomas (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt, Deutschland)
Abstract:
Der Einfluss der Rauheit der Seitenwände und der Verkippung von photonischen Kristallen aus Silizium auf das resultierende Absorptionsspektrum im infraroten Spektralbereich wurde mittels Simulationen ermittelt. Dabei konnte gezeigt werden, inwiefern die Ausprägung der Ausbuchtungen der Seitenwände das Absorptionsspektrum beeinflusst. Für Verkippungen der photonischen Kristallstruktur gegenüber der Ausbreitungsrichtung des Lichtes konnten erst bei Verkippungen um mehr als 10 Grad signifikante Änderungen im Absorptionsspektrum der untersuchten Strukturen festgestellt werden.