Entwicklung einer integrierten mikroelektromechanischen Pumpe für mobile Anwendungen
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Seidl, Martin; Schrag, Gabriele (Technische Universität München, 80333 München, Deutschland)
Tumpold, David (Infineon Technologies AG, 85579 Neubiberg, Deutschland)
Abstract:
Wir stellen ein Konzept für eine mikroelektromechanische Pumpe für mobile Anwendungen vor, die einen bis zu einer Größenordnung geringeren Flächenbedarf im Vergleich zum Stand der Technik aufweist. Durch die Verwendung von standardisierten Herstellungsprozessen der MEMS-Technologie werden Chip-Kantenlängen von unter 1,9 mm erreicht, wodurch die einfache Integration in mobile Geräte ermöglicht wird. Um die Effizienz unterschiedlicher Mikropumpen zu untersuchen, und die vielversprechendsten Designvarianten zu identifizieren, werden voll gekoppelte Finite-Elemente-Simulationen des gesamten Pumpzyklus durchgeführt. Aus diesen Untersuchungen geht ein Pumpenkonzept hervor, bei dem Förderraten von 100 myl/min pro mm3 Bauraum erwartet werden. Darüber hinaus ermöglicht die Kompatibilität zu gewöhnlichen, standardisierten Halbleiterfertigungsverfahren die Fertigung in hohen Stückzahlen zu geringen Stückkosten, und sichert gleichzeitig eine gleichbleibende Qualität.