Piezoelektrische MEMS-Drucksensorarrays zur oberflächenbündigen Messung aerodynamischer Fluktuationen in der Grenzschicht
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Stopp, Michael; Britz, Alexander; Bauer, Karin; Seidel, Helmut (Universität des Saarlandes – Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, 66123 Saarbrücken, Deutschland)
Abstract:
Die Messung von Fluktuationen in der Grenzschicht von Strömungen ist ein Bestandteil der Bestimmung von Transitionsvorgängen im Übergangsbereich zwischen laminarem und turbulentem Strömungsverhalten. Hierzu kann neben der Wandschubspannung auch der Wanddruck gemessen werden. Dazu wird ein neuartiger Drucksensor entwickelt, welcher sich durch eine einfache Herstellung mit wenigen Prozessschritten auszeichnet und dadurch auch gut als Array auf einem Chip fertigen lässt.