Mikrofluidische In-plane-Kontaktierungskonzepte
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Weigel, Christoph; Hanitsch, Stefan; Dressler, Lothar (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Gustav-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Hoffmann, Martin (Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano®, Gustav-Kirchhoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland & Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Universitätstr. 150, 44801 Bochum, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag werden Konzepte für die mikrofluidische In-plane-Kontaktierungen gezeigt. Umgesetzte Systeme werden dabei sowohl für die konventionelle Silicium-Technologie als auch für Mehrlagen-LTCC-Substrate diskutiert. Die umgesetzten Systeme erlauben dichte Kontaktierungen und eine einfache Integration in bestehende Schlauchsysteme z.B. für die Anwendung mit „pipe-based bioreactors“.