Charakterisierung eindimensionaler Nanostrukturen durch Verfahren der Bildverarbeitung
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Haas, Dimitri; Wick, Konja; Schlaak, Helmut F. (Fachgebiet Mikrotechnik und Elektrische Mechanische Systeme, Technische Universität Darmstadt, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
Ziel dieser Arbeit ist die Entwicklung einer Methode zur Abschätzung der Oberflächenvergrößerung durch großflächig aufgebrachte Nanodrähte anhand auswertbarer Bilddaten rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen. Untersucht werden dabei die Poren von sogenannten Templatfolien, welche zur galvanischen Erzeugung der Nanodrähte benötigt werden. Position und Verlauf der Poren auf der auflaminierten Folie können mittels Techniken der Bildverarbeitung erfasst und ein Rückschluss auf die Mantelfläche der anschließend erzeugten Drähte gezogen werden.