Mikrostrukturierung für super-hydrophobe Oberflächen in Electrowetting
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Türk, Semih; Viga, Reinhard (aUniversität Duisburg-Essen, Elektronische Bauelemente und Schaltungen, Duisburg, Deutschland)
Jupe, Andreas; Vogt, Holger (Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen, Duisburg, Deutschland)
Abstract:
In dieser Arbeit wird der Einfluss von freistehenden mikrostrukturierten ALD-Schichten auf die hydrophobe Oberflächeneigenschaft untersucht. Hierzu werden mit einer Opferschichttechnik freitragende Strukturen erzeugt. Zur Beeinflussung der Benetzung wird die Dichte der Mikrostrukturen variiert. Die experimentell gemessenen Werte für den Kontaktwinkel sind in guter Übereinstimmung mit den analytisch berechneten Werten. Für einen Abstand von b = 2 µm, 5 µm und 10 µm beträgt der Kontaktwinkel Өexp = 139,9 Grad, 147;3Grad und 151;8 Grad.