Hochdynamische Druckpulsanalyse einer Mikromembranpumpe mittels in-line MEMS-Sensor
Conference: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10/28/2019 - 10/30/2019 at Berlin, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Thalhofer, Thomas (Fraunhofer EMFT, Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien, Hansastraße 27d, 80686 München, Deutschland)
Abstract:
Vorgestellt wird die hochdynamische Analyse des pulsatilen Flusses von Mikromembranpumpen mithilfe eines in-line MEMS-Sensors. Die Druckpulscharakteristik der Mikromembranpumpe wird phänomenologisch beschrieben und die Abhängigkeit des Sensorsignals von der Aktuierungs-Signalform wird dargelegt. Des Weiteren wird auf die Einflüsse der fluidischen Peripherie auf das Sensorsignal und die sich somit ergebende Rückverfolgbarkeit auf Fluidsystemgrößen eingegangen.