Piezoelektrische MEMS-Aktuatoren basierend auf ferroelektrischen Aluminium-Scandium-Nitrid Doppellagen
Conference: MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress
10/23/2023 - 10/25/2023 at Dresden, Deutschland
Proceedings: MikroSystemTechnik Kongress 2023
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Authors:
Kreutzer, Tom-Niklas; Fichtner, Simon (Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie (ISIT), Itzehoe, Deutschland & Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Institut für Materialwissenschaft, Kiel, Deutschland)
Stoppel, Fabian; Ghori, Muhammad Zubair; Lofink, Fabian (Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie (ISIT), Itzehoe, Deutschland)
Abstract:
Diese Arbeit präsentiert einen freistehenden piezoelektrischen Doppellagen-Aktor, basierend auf der permanenten Polarisation-Inversion in ferroelektrischen Aluminium-Scandium-Nitrid (AlScN). Hierfür wurden AlScN-Doppellagen mit einem Scandium-Gehalt von 27 Prozent mithilfe von reaktivem Co-Sputtern auf einem SOI-ähnlichen Substrat abgeschieden und sequenziell strukturiert. Im Anschluss erfolgte die Charakterisierung mithilfe eines Doppel-Strahl-Laser-Interfero-meters (DBLI), sowie eines Laser-Doppler-Vibrometers (LDV).