Simulation von Dämpfungseffekten in unregelmäßig perforierten MEMS Bauteilen durch Kompaktmodelle

Abstract:
Die korrekte Modellierung von Dämpfungseffekten in MEMS Bauteilen stellt aufgrund ihrer geringen Abmessungen und der gleichzeitig hohen Komplexität der Strukturen eine große Herausforderung dar. Durch die Kombination eines finiten Netzansatzes mit eigens abgeleiteten Kompaktmodellen sind wir in der Lage unregelmäßig perforierte Strukturen zu simulieren und den Fluidfluss an der Schnittstelle zwischen zwei unterschiedlich stark perforierten Bereichen korrekt nachzubilden. Validiert wird der Ansatz durch die Vermessung speziell gefertigter Teststrukturen.