Mikromechanische Konstantkraft-Mechanismen

Abstract:
Mit den in dieser Arbeit vorgestellten mikromechanischen Konstantkraft-Mechanismen werden konstante Kräfte zwischen 40 myN und 2500 myN erreicht. Der Auslenkungsbereich umfasst dabei 38Mikrometer bzw. 177 µm. Ein vorgespanntes System mit einer Kraft von 95,5 myN ± 1,5 myN erreicht eine Abweichung der konstanten Kraft von nur 1,6% über den gesamten Auslenkungsbereich von 53 µm. Ein kombinierter Konstantkraft-Mechanismus aus drei Federtypen (Mäander-,Dreiecks- und Cosinusfeder) weist zudem eine hohe Seitenstabilität auf und eignet sich besonders für den Einsatz in einem elektrostatischen Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosystem.