Messprinzip und Anwendungsbeispiele der energiedispersiven Röntgendiffraktometrie

Abstract:
Die Röntgendiffraktometrie ist seit vielen Jahren eine bewährte und etablierte Technik zur Bestimmung von kristallografischen Werkstoffeigenschaften. Bei der Anwendung der energiedispersiven Röntgendiffraktometrie entfällt im Gegensatz zur winkeldispersiven Diffraktometrie das Goniometer und durch die Verwendung von Kleinleistungsröhren mit einer Primärenergie von 50...60keV können kompakte und preiswerte Gerätelösungen realisiert werden. Mit der energiedispersiven Röntgendiffraktometrie können zusätzlich zur Materialidentifikati-on weitreichende Aussagen über Phasenaufbau, Gefüge, innere Spannungen in Festkörpern oder Schichtsyste-men getroffen werden. Durch die höhere Eindringtiefe der primären Röntgenstrahlung mit einer Energie von 50...60 keV können mit dieser neuen Messvariante Informationen aus Probentiefen bis zu einigen mm und damit auch von vergrabenen Strukturen gewonnen werden.